LED行业蒸镀ITO我是做LED蒸镀ITO的,蒸镀时,以2寸的玻璃片蒸镀ITO来检测产品的膜厚与穿透率.有时候会出现玻璃控片镀完ITO外围泛白,穿透率较低,82%以下,正常的话应该是85%以上的,也不会有产品

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 09:13:33

LED行业蒸镀ITO
我是做LED蒸镀ITO的,蒸镀时,以2寸的玻璃片蒸镀ITO来检测产品的膜厚与穿透率.有时候会出现玻璃控片镀完ITO外围泛白,穿透率较低,82%以下,正常的话应该是85%以上的,也不会有产品泛白的问题.请问你是否了解是何原因?我推测玻璃控片没洗干净导致这个问题~但不确定!
另外,镀膜厚度不稳定,从3250~3570之间波动,是晶振片检测膜厚系统出问题了吗?

泛白应该与通氧量和温度有关,不知道你蒸镀的温度和通氧量是多少,在这方面试验试验.对于厚度问题,不知你用的是哪家的设备,设定厚度是多少,一般10%的波动都是正常的.