为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/14 03:25:56

为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象

有可能是片摆放位置不是很正,另一个就是由于石墨舟使用时间较长,产生温度不是很均匀造成烧片!

那家的炉子?
啥叫烧片?