白光干涉仪的特点有哪些?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/27 10:08:53
白光干涉仪的特点有哪些?
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1、非接触式测量:避免物件受损.
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm.
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换.
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm.
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟.
6、扫描仪:采用闭环控制系统.
7、工作台:气动装置、抗震、抗压.
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算.
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